英国CORNERSTONE是由University of Southampton, University of Glasgow和University of Surrey发起的硅光工艺平台，旨在为英国硅光研究提供支持。 SPP自2017年开始，同CORNERSTONE建立了合作关系，帮助国内用户获取该平台能力。目前SPP正在协助平台进行下一阶段的CORNERSTONE 2建设推进，将进一步丰富工艺平台能力。
现阶段CORNERSTONE平台可提供的能力如下
- 3种SOI衬底可选
- 220nm Si /2um BOX， 340nm Si / 2um BOX, 500nm Si / 3um BOX
- 无源器件
- 波导，耦合器，波分复用，滤波器….
- 有源器件
- 调制器…
- 3层硅刻蚀
- Shallow Si etch for grating coupler
- Intermediate Si etch for rib waveguides
- Full Si etch for strip waveguides
- 4级注入（2xN, 2xP)
- 金属工艺
- Heater
- 欧姆接触
详细流片日程和规格，请参阅以下链接
https://www.cornerstone.sotonfab.co.uk/schedule-cost
